Abstract
This work demonstrates the self-Q enhancement capability of micro/nanomechanical thermal-piezoresistive resonators. Due to the existence of an internal feedback mechanism in one-port thermally actuated electromechanical resonators, such devices can compensate their mechanical energy loss by turning part of the electrical energy absorbed from their bias source into mechanical energy. This can lead to significantly improved resonator effective quality factors (Q). Over 1000X quality factor amplification and effective Q in the range of millions has been successfully demonstrated for high frequency thermally actuated single crystalline silicon resonators
چکیده
این کار قابلیت بهبود Q خودبخودی در تشدید کننده های گرمایی- پیزومقاومتی میکرو/نانومکانیکی را نشان می دهد. به خاطر وجود یک مکانیسم فیدبک داخلی در رزوناتورهای الکترومکانیکی تک پورت که به صورت گرمایی تحریک می شوند، چنین دیوایس هایی می توانند تلفات انرژی مکانیکی را با جذب انرژی الکتریکی از منبع بایاس جبران کنند. این امر می تواند منجر به بهبود چشمگیر ضریب کیفیت موثر تشدید کننده (Q) شود. بیش از چند هزار تقویت ضریب کیفیت و چندین میلیون Q موثر برای تشدید کننده های سیلیکونی تک کریستالی فرکانس بالا که به صورت گرمایی تحریک می شوند به صورت موفقیت آمیز نشان داده شده اند.
1-مقدمه
یکی از تعهدات دیوایس های تشدید کننده الکترومکانیکی تحقق فیلترهای RF باند باریک و به شدت انتخابگر می باشد که امکان انتخاب کانال مستقیم قبل از down conversion در سیستم های مخابراتی بی سیم را فراهم می کند. ضریب کیفیت های بسیار بالای تشدید کننده ها در حد چندین ده هزار برای پیاده سازی چنین فیلترهایی مورد نیاز هستند....