In this paper, microplasma is investigated, which occurs between the narrow gap of the electrodes covered with dielectric materials. The discharge gap is set on the order of micrometers by changing a spacer from 0 to 100 μm.. In this paper, the characteristics of microplasma, such as discharge voltages, discharge currents, and discharge power that is obtained with the help of Lissajous figures, and the relationships between these electric characteristics are presented. The characteristics of ozone generation by a microplasma electrode are investigated. Treatment by microplasma for the simulated exhaust gas, which contains NO_x and C₃H₈ as a role of HC and CO, is estimated experimentally. In the absence of O₂, the exhaust gas is decomposed by nitrogen atomic species in particular. In the presence of O₂, it is decomposed by nitrogen atomic species and oxidized by ozone. By-product analysis of treated gases is carried out by Fourier transform infrared spectroscopy and gas chromatography-mass spectrometry. When HC, NO_x, and N₂ are included in the simulated exhaust gas, HCN, N₂O, and CH₄ are confirmed as by-products of the microplasma treatment

چکیده

در این مقاله میکروپلاسماهایی که بین فاصله باریک الکترودهای پوشش داده شده با مواد دی الکتریک رخ می دهد، بررسی شده است. فاصله تخلیه، در مرتبه میکرومتر توسط تغییر یک فضا از 0 تا 100 میکرومتر تنظیم می شود. دراین مقاله، مشخصه های میکروپلاسما مانند ولتاژهای تخلیه، جریان های تخلیه، و توان تخلیه که با کمک شکل Lissajous به دست می آید، و رابطه بین این  مشخصه های الکتریکی ارائه می شود. مشخصه های تولید اوزون توسط یک الکترود میکروپلاسما بررسی شده است. آمایش میکروپلاسما برای گاز خروجی شبیه سازی شده که شامل NO_x و ₈C₃H در نقش HC و CO می باشد، به صورت تجربی آزمایش شده است. در غیاب O₂، گاز خروجی توسط گونه های اتمی نیتروژن تجزیه می شود. در حضور O₂، توسط گونه های اتمی نیترژون تجزیه شده و توسط اوزون اکسید می شود. تحلیل محصول و گازهای تولیدی توسط طیف سنجی فرو سرخ تبدیل فوریه و کروماتوگرافی گاز (اسپکترومتری جرمی) انجام می شود. زمانی که HC، و N₂ در گاز خروجی شبیه سازی شده درنظر گرفته شوند، HCN، N₂O و CH₄ به صورت محصولات آزمایش میکروپلاسما تایید می شوند.

1-مقدمه

پلاسما غیرگرمایی، به صورت گسترده بری حفاظت محیط و سنتزها یا واکنش شیمیایی پلاسما بهبود یافته علی الخصوص تولید اوزون[1-4] و کنترل گاز  آلوده شده مانند تجزیه NO_x، و HC با تخلیه سد دی الکتریک [5-12] و کرونا پالس شده استفاده می شود [13-15]. میکروپلاسما می تواند در ولتاژهای تخلیه پایین تری نسبت به این روشهای تخلیه به سبب فاصله های باریک تولید شود...